松下測量和測量系統(tǒng)的優(yōu)勢

高標準的三維測量機UA3P可以適應許多領域。

超高精度測量（實現(xiàn)單納米可重復性）

使用接觸測量（旋轉對稱的非球面和自由形式表面）的絕對形狀評估

復雜形狀的靈活的NC路徑

從測量數(shù)據(jù)（例如Zerinike Anallys）中實現(xiàn)各種分析

還可以評估表面和外部形狀之間的偏心率（例如，非球面，自由形式的表面，晶圓鏡片）

即使在復雜的形狀中也可以測量表面粗糙度

可以在沒有設計公式的情況下進行測量和評估

使用CAD數(shù)據(jù)評估

通過自動測量進行工作水平和勞動節(jié)省

松下測量和測量系統(tǒng)的功能

松下 Panasonic測量和測量系統(tǒng)協(xié)調測量技術

測量機的坐標系由獨立于階段的三個參考平面（鏡子）組成，每個XYZ軸都使用激光干涉儀，使用頻率穩(wěn)定的HE-NE激光作為光源來測量0.3 nm的分辨率。這降低了舞臺的平方和直率的影響，從而實現(xiàn)了高精度的測量。

坐標軸引起的測量誤差：在0.05μm內（高達100毫米），在0.3μm以內（高達500 mm）

協(xié)調測量技術

測量探針

通過超低測量力，可以對測量物體進行高精度掃描測量。

手寫筆由微型空氣滑塊持有，焦點激光器檢測出手寫筆的運動，并根據(jù)測量對象的形狀遵循AFP的位置，以使測量力是恒定的。

測量力：0.15-0.30 MN（15-30 mgf） *UA3P-3100/4000為0.05-0.30 MN，UA3P-5000H為0.10-0.30 MN

手寫筆：角度30度，r =2μm鉆石手寫筆可以使用

測量探針

核心軟件技術

通過簡單操作實現(xiàn)高精度測量。它可以處理任何設計信息，并且可以通過以三維方式糾正測量對象的安裝錯誤來進行準確的形狀測量。